Technologia i charakteryzacja warstwy TiO2
Authors:
- M. Zięba,
- K. Wojtasik,
- C. Tyszkiewicz,
- W. Pakieła,
- P. Karasiński
Abstract
W prezentacji przestawione zostaną wyniki badań opracowanych przez nas warstw ditlenku tytanu do zastosowań w optoelektronice. Warstwy wytwarzane były na podłoża szklane z wykorzystaniem metody zol-żel i techniki dipcoating. Wytwarzane warstwy TiO2 charakteryzują się wysokim współczynnikiem załamania n~2,2 i grubościami powyżej 100 nm. Przedstawiona zostanie technologia wytwarzania warstw ditlenku tytanu i ich charakteryzacja optyczna. Zaprezentowany zostanie wpływ temperatury wygrzewania struktur na ich finalne grubości i współczynniki załamania. Przedstawione zostaną wyniki badań dotyczące ich jednorodności optycznej i morfologii powierzchni.
- Record ID
- CUTca225c85a4cf4411ba205523d8cae502
- Publication categories
- ;
- Author
- Pages
- 184-185
- Other elements of collation
- fot.; rys.; Bibliografia (na s.) - 185; Bibliografia (liczba pozycji) - 13; Oznaczenie streszczenia - Streszcz.
- Substantive notes
- Data wyd. wg daty konf.
- Book
- ELTE 2023 : XIV Konferencja Naukowa Technologia Elektronowa, Ryn, 18-21 kwietnia 2023 : materiały konferencyjne, 2023, Warszawa, Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki Politechniki Warszawskiej, ISBN 978-83-64102-05-9
- Keywords in Polish
- zol-żel, dip-coating, TiO2, etanolan (IV) tytanu
- Language
- pol (pl) Polish
- Score (nominal)
- 0
- Uniform Resource Identifier
- https://cris.pk.edu.pl/info/article/CUTca225c85a4cf4411ba205523d8cae502/
- URN
urn:pkr-prod:CUTca225c85a4cf4411ba205523d8cae502
* presented citation count is obtained through Internet information analysis, and it is close to the number calculated by the Publish or PerishOpening in a new tab system.